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按照外媒Techpowerup报道,近日ASML暗示,按照今朝的定单资讯及需求,估计2027年将交付10套High-NA EUV及56套EUV光刻机。此中,英特尔及三星近来都提高了光刻机的定单量,英特尔将High-NA EUV的订购数目从1套提高到2套,EUV的订购数目从3套提高到5套,别的三星也将EUV的订购数目从原有的5套提高到7套。
值患上留意的还有有SK海力士,2027年ASML要交付的EUV光刻机里占了20套的数目,同时也将High-NA EUV的订购数目从1套提高到2套。此外,传说风闻SK海力士计画于将来两年内安装好20套EUV光刻机,全数是为了HBM和进步前辈存储解决方案所采购的。
虽然英特尔极可能是首个于量产历程中导入High-NA EUV暴光技能的半导体系体例造商。不外,三星及SK海力士正于迎头遇上。尤其是SK海力士,以今朝的产能扩张速率,估计将需要更多的厂房,以为预备安装光刻机留下充足的空间。
-米兰·(milan) 返回